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加野0.1μm級超小型粒子計數(shù)器為芯片制造保駕護(hù)航

更新時間:2021-09-19      點擊次數(shù):1718

加野0.1μm級超小型粒子計數(shù)器為芯片制造保駕護(hù)航

2020年9月15日,美國禁止為華為提供5G芯片,也不準(zhǔn)用機(jī)器為華為生產(chǎn)5G芯片,導(dǎo)致華為空有一身強(qiáng)悍技術(shù),卻因為光刻機(jī)等原因缺芯少魂,無處施展。美國采取“斷供"的方式已對中國59家企業(yè)實施“制裁",如果這一批科技產(chǎn)業(yè)鏈*們倒下,中國的全產(chǎn)業(yè)鏈升級、中國制造大升級將*失敗,絕非危言聳聽。
 
國人當(dāng)自強(qiáng)!光刻機(jī)、光刻膠、芯片研發(fā)等全產(chǎn)業(yè)鏈的所有生產(chǎn)、技術(shù)都要自主研發(fā),12寸晶圓、光掩膜、EUV光源、透鏡等都要自己制造,芯片自主化生產(chǎn)之路已成必然趨勢。

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由于芯片制造工藝及封裝等生產(chǎn)流程極其復(fù)雜,對生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求*,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量至關(guān)重要、b不可少!

 

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KANOMAX公司推出的超小型粒子計數(shù)器3950,同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個數(shù),也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子,為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據(jù),為芯片制造保駕護(hù)航!
 
Kanomax顛f性的技術(shù)革新,超小型粒子計數(shù)器MODEL 3950,不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承,而且w美實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中,致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。
 
通過超小型化的設(shè)計,使0.1μm級粒子計數(shù)器可嵌入裝備使用。

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應(yīng)用范圍:
作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區(qū)域的管理


品    名塵埃粒子計數(shù)器
型    號3950-00
粒子測量測試方法光散射法
粒徑通道2粒徑(0.1、0.3μm)
額定流量0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)
測量時間6秒~99分59秒(1次測量時間)
間隔時間6秒~99分59秒(測量周期)
采樣次數(shù)1~999次 或 連續(xù)測試
地點設(shè)定99個地點
測量方式重復(fù)、單次、連續(xù)、計算
測量數(shù)據(jù)顯示時間1~10秒
測量數(shù)據(jù)顯示累計值∑ 差分值△及柱形圖
最大可測濃度10,000,000個/m3
計數(shù)效率50±20%(相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對于最小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
偽 計 數(shù)<1個/35min
粒徑分辨率15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
氣    源內(nèi)置泵
顯示器4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
通迅功能本    體USB(Host用于打印機(jī)、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)
數(shù)據(jù)存儲媒    體內(nèi)存
數(shù)量、格式最大10,000個、CSV格式
顯示語言英文、日語
電   源AC100~240V
使用環(huán)境本    體15~35℃、0~85%RH (無結(jié)露)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重    量3.4kg

 
Kanomax超小型粒子計數(shù)器3950自推出以來好評不斷,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物制藥、食品衛(wèi)生、空調(diào)凈化、精密機(jī)械等眾多行業(yè)測試領(lǐng)域。


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